对于大部分洁净室,为了防止外界污染侵入,需要保持内部的压力(静压)高于外部的压力(静压)。洁净室工程压力差的维持一般应符合以下原则。
1、洁净空间的压力要高于非洁净空间的压力。
2、洁净度级别高的空间的压力要高于相邻的洁净度级别低的空间的压力。
压力差的维持依靠新风量,这个新风量要能补偿在这一压力差下从缝隙漏泄掉的风量。所以压力差的物理意义就是漏泄(或渗透)风量通过洁净室的各种缝隙时的阻力。
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